153 – Мікро- та наносистемна техніка_бакалавр_2017 153 – Мікро- та наносистемна техніка_бакалавр_2020153 – Мікро- та наносистемна техніка_бакалавр_2021 153 – Мікро- та наносистемна техніка_бакалавр_ск_2021